[发明专利]一种降低金刚线切割多晶硅棒单片线耗的方法有效
申请号: | 201910611410.2 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN112192773B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 谷宁宁;李飞龙 | 申请(专利权)人: | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 471023 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种降低金刚线切割多晶硅棒单片线耗的方法,所述方法为:测试多晶硅棒的杂质面积占比;根据杂质面积占比的不同对多晶硅棒进行分类,并使用不同的切割工艺对不同类的多晶硅棒进行金刚线切片。本发明根据每根多晶硅棒杂质含量不同的特性,以杂质面积占比为依据,分别以杂质面积0.51‰、1.15‰以及2.29‰为基准点进行分类,分类粘接后,选择与不同类别相适应的切割工艺与之配合进行切割,进而增加了金刚线切割多晶硅棒金刚石磨损的均匀性,降低单片线耗,提高切割良率。相对于现有工艺,本发明提供的方法平均单片线耗可降低6%‑30%,切割良率可达96.5%以上,具有良好的经济效益和应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 金刚 切割 多晶 单片 方法 | ||
【主权项】:
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