[发明专利]一种移动式供气柜在审

专利信息
申请号: 201910612228.9 申请日: 2019-07-08
公开(公告)号: CN110207010A 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 刘书田;郑少宾;可建 申请(专利权)人: 深圳融科半导体装备有限公司
主分类号: F17C13/08 分类号: F17C13/08;B62B3/10
代理公司: 北京久维律师事务所 11582 代理人: 邢江峰
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及供气技术领域,具体是一种移动式供气柜,包括车架,所述车架左侧顶端固定连接设置有推杆,所述车架内侧右端设置有钢瓶存放仓,所述钢瓶存放仓左侧设置有操作控制仓,所述车架顶部设置有触摸屏,所述触摸屏与控制器连接,所述车架底部螺栓连接设置有脚轮,本发明,通过设置脚轮和推杆,可以方便人们移动车架,使装置的使用地点不受限制,通过设置操作控制仓,可以将六种高纯度气体按照不同比例进行混合,分别供应四个用气点,通过设置真空发生器,可以向进气管内导入氮气,使真空发生器旁通侧产生负压,使各支路内的气体排出,通过采用全自动控制,可以保证操作人员和环境的安全。
搜索关键词: 车架 推杆 真空发生器 触摸屏 存放仓 供气柜 移动式 钢瓶 脚轮 氮气 高纯度气体 控制器连接 全自动控制 支路 顶部设置 螺栓连接 设置操作 移动车架 进气管 控制仓 受限制 负压 排出 旁通 供气 安全 保证
【主权项】:
1.一种移动式供气柜,包括车架(2),其特征在于,所述车架(2)左侧顶端固定连接设置有推杆(1),所述车架(2)内侧右端设置有钢瓶存放仓(4),所述钢瓶存放仓(4)左侧设置有操作控制仓(5),所述车架(2)顶部设置有触摸屏(3),所述触摸屏(3)与控制器连接,所述车架(2)底部螺栓连接设置有脚轮,所述钢瓶存放仓(4)和操作控制仓(5)前侧均设置有与车架(2)铰接的车门(6)。
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