[发明专利]一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法有效
| 申请号： | 201910612490.3 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110359022B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 云山;郭探;洪坤;陈静;李彦兴;李华举 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/58;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 马海清 |
| 地址： | 223005 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，包括以下步骤：S1.用清洗剂超声清洗基材，清洗后干燥得透明导电衬底；S2.将S1中透明导电衬底送入沉积室中，通入比例为1:6的氧气与氩气，控制总压强为1Pa，靶材与透明导电衬底的距离为8cm，沉积载流子传输层，沉积时间15min；沉积完成之后将样品托盘送入刻蚀室，将采用直流等离子刻蚀透明导电衬底。与现有技术相比，工艺方面更加简单，同时能够与磁控溅射结合连续制备，不需要增加过多的成本，经济上可行；性能方面，界面处面积增加即可以提供更多的载流子分离与传输通道，抑制界面处的电子‑空穴对复合，从而提升样品的光电化学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 优化 载流子 传导 电荷 分离 效率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1.用清洗剂超声清洗基材，清洗后干燥得透明导电衬底；S2.将S1中透明导电衬底送入沉积室中，通入比例为1:6的氧气与氩气，控制总压强为1Pa，靶材与透明导电衬底的距离为8cm，沉积载流子传输层，沉积时间15min；沉积完成之后将样品托盘送入刻蚀室，将采用直流等离子刻蚀透明导电衬底。
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