[发明专利]一种交错电荷收集二维束流轮廓探测器及方法有效

专利信息
申请号: 201910613512.8 申请日: 2019-07-09
公开(公告)号: CN110286403B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 刘俊亮;于得洋 申请(专利权)人: 中国科学院近代物理研究所
主分类号: G01T1/29 分类号: G01T1/29
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 孙楠
地址: 730013 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明涉及一种交错电荷收集二维束流轮廓探测器及方法,其包括支架、安装孔、穿线孔、二维阳极板、铜支撑柱、二次电子抑制丝网板和接地丝网板;所述支架中部设置有若干所述安装孔,所述支架两侧设置有若干所述穿线孔,所述二维阳极板通过若干所述安装孔固定设置在所述支架上;在所述二维阳极板上由靠近所述二维阳极板一侧起依次设置有所述二次电子抑制丝网板、接地丝网板,所述二次电子抑制丝网板和接地丝网板通过铜支撑柱和螺母与所述二维阳极板固定连接。本发明能有效的防止由于二次电子逃逸导致的测量结果偏大,能在带电粒子束的束流轮廓测量中广泛应用。
搜索关键词: 一种 交错 电荷 收集 二维 轮廓 探测器 方法
【主权项】:
1.一种交错电荷收集二维束流轮廓探测器,其特征在于:该探测器包括支架、安装孔、穿线孔、二维阳极板、铜支撑柱、二次电子抑制丝网板和接地丝网板;所述支架中部设置有若干所述安装孔,所述支架两侧设置有若干所述穿线孔,所述二维阳极板通过若干所述安装孔固定设置在所述支架上;在所述二维阳极板上由靠近所述二维阳极板一侧起依次设置有所述二次电子抑制丝网板、接地丝网板,所述二次电子抑制丝网板和接地丝网板通过铜支撑柱和螺母与所述二维阳极板固定连接。
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