[发明专利]一种红外探测器的制备方法以及由此得到的红外探测器有效
| 申请号： | 201910613814.5 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110451453B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李铁;何云乾;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 宋丽荣 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种红外探测器的制备方法，包括如下步骤：选用半导体晶圆作为衬底；在衬底表面形成复合薄膜；在复合薄膜表面形成热电薄膜；在热电薄膜上形成沿对角线密排图形化的硼和磷重掺杂热电偶，其由硼重掺杂热电条和磷重掺杂热电条组成；使硼和磷重掺杂热电偶金属欧姆互连；以及将复合薄膜从衬底上释放，得到封闭膜式的密排热电偶的红外探测器。本发明还提供由上述的制备方法得到的红外探测器。本发明通过密排图形和硼/磷离子重掺杂，沿红外探测器对角线上依次形成平面或堆叠密排的热电偶，最后形成金属欧姆互连，实现密排热电偶的红外探测器的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外探测器 制备 方法 以及 由此 得到 | ||
【主权项】：
1.一种红外探测器的制备方法，其特征在于，该制备方法包括如下步骤：/nS1，选用半导体晶圆作为衬底；/nS2，在衬底表面形成复合薄膜；/nS3，在复合薄膜表面形成热电薄膜；/nS4，在热电薄膜上形成沿对角线密排图形化的硼和磷重掺杂热电偶，其由硼重掺杂热电条和磷重掺杂热电条组成；/nS5，使硼和磷重掺杂热电偶金属欧姆互连；以及/nS6，将复合薄膜从衬底上释放，得到封闭膜式的密排热电偶的红外探测器。/n
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