[发明专利]包含多种生酸剂化合物的光致抗蚀剂在审
| 申请号： | 201910614043.1 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110333645A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | J·W·撒克里;成镇旭;P·J·拉宝美;V·简恩 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 包含多种生酸剂化合物的光致抗蚀剂。本发明涉及新的光致抗蚀剂组合物，其包括(a)包含与其相连的生酸剂的聚合物；和(b)并不与聚合物相连的且包含一个或多个酸不稳定性基团的生酸剂化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 生酸剂化合物 光致抗蚀剂 聚合物 光致抗蚀剂组合物 酸不稳定性基团 生酸剂 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂包括：(a)包含与其相连的生酸剂的聚合物；和(b)并不与聚合物相连的且包含一个或多个酸不稳定性基团的生酸剂化合物，所述生酸剂化合物具有下述阳离子组分：![]()
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料有限公司，未经罗门哈斯电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910614043.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
