[发明专利]图像传感器及其形成方法

摘要

一种图像传感器及其形成方法，所述图像传感器包括：半导体衬底；滤色镜结构，位于所述格栅结构的格栅开口内，包括至少一个PDAF滤色镜结构以及多个非PDAF滤色镜结构，每个PDAF滤色镜结构包含有预设数量的滤色镜组，且至少一个滤色镜组为PDAF滤色镜组。本发明方案可以有效的降低金属格栅对光线的阻挡问题，使得穿过PDAF滤色镜组进入光电二极管的光线能够真实体现光线入射角度的差异，提高角度响应，提高PDAF的工作效果。

主权项

1.一种图像传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；网格状的格栅结构，位于所述半导体衬底的表面，所述格栅结构具有至少一个第一格栅开口以及多个第二格栅开口，其中，所述第一格栅开口的横截面面积为所述第二格栅开口的横截面面积的预设倍数；滤色镜结构，位于所述格栅结构的格栅开口内，包括至少一个PDAF滤色镜结构以及多个非PDAF滤色镜结构，每个PDAF滤色镜结构包含有预设数量的滤色镜组，且至少一个滤色镜组为PDAF滤色镜组；其中，所述PDAF滤色镜组与所述第一格栅开口一一对应且位于对应的第一格栅开口内，所述PDAF滤色镜结构中的非PDAF滤色镜组中的滤色镜以及非PDAF滤色镜结构中的滤色镜位于所述第二格栅开口内。