[发明专利]一种气体供应装置在审
| 申请号： | 201910615162.9 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN112212209A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 杨俊杰 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/08;F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种气体供应装置，所述气体供应装置包括：第一气体供应组件，用于向设备端供应第一气体；第二气体供应组件，用于向设备端供应第二气体；监测控制组件，设置于所述第一气体供应组件和所述第二气体供应组件上；承载柱，用于移动所述第一气体供应组件、第二气体供应组件、监测控制组件以及输出气体管路；多个车轮安装于所述承载柱的底部；所述第一气体供应组件和所述第二气体供应组件通过输出气体管路相连接。本发明采用移动式的气体供应装置，能够实现无线远端控制以及监控气体供应的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 供应 装置 | ||
【主权项】：
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