[发明专利]一种柔性声表面波二氧化碳气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910616448.9 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110988112B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 徐晟;张瑞;韩健;赵旭;李扬;崔俊鹏;胡晓光 | 申请（专利权）人： | 天津中德应用技术大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036;G01N29/22;G01N29/24;H01L41/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人： | 李程;陈昌娟 |
| 地址： | 300350 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性声表面波二氧化碳气体传感器及其制备方法，该二氧化碳气体传感器从上至下依次由敏感吸附层、叉指电极和/或反射栅层、压电缓冲层和柔性压电衬底层构成。本发明的优点是：传感器制造工艺简单、操作方便，所述柔性特性使得传感器可以方便地粘贴在各类测试点，应用环境和工况上具有很大的灵活性，传感器耐腐蚀能力强、抗干扰性好，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 表面波 二氧化碳 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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