[发明专利]一种基于非谐振辅助的纳米压印装置在审
| 申请号： | 201910617395.2 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN112213918A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 谷岩;林洁琼;陈斯;徐宏宇;康洺硕;冯开拓;颜家瑄;李先耀;张昭杰;徐贞潘;易正发;戴得恩;段星鑫;卢发祥;辛成磊 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，首先将衬底放在衬底卡盘中，调节Y轴位移平台及X‑Z轴位移平台使衬底移动到模板正下方，再控制X‑Z轴位移平台使压印装置向下运动，直至压印装置与衬底微接触，控制X‑Z轴位移平台进行压印，在压印同时使用Z向振动平台对衬底施加Z向振动，然后利用冷却装置对衬底进行冷却固化，最后用揭开式振动辅助的方法进行脱模，本发明采用Z向振动平台带动衬底进行压印，提高模板空腔的填充率与微纳图案的分辨率；采用吸气泵及多个独立封闭通道在脱模时实现揭开式脱模，在模板在与衬底逐渐分离的同时进行振动辅助，减小模板与压印胶间的粘附力，从而减少脱模时对模板造成的损伤与毁坏，延长模板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谐振 辅助 纳米 压印 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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