[发明专利]一种基于溶液法的氧化硅基忆阻器及其制备方法与应用有效
申请号: | 201910617479.6 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN112216791B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 张宗波;李鹏飞;徐彩虹;王丹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院化学研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人: | 聂稻波;吕少楠 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明公开一种基于溶液法的氧化硅基忆阻器及其制备方法与应用。所述方法包括:1)在衬底上制备下电极,或者,提供或直接制备下电极;2)采用溶液法,以PHPS为原料,在所述下电极上制备SiO |
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搜索关键词: | 一种 基于 溶液 氧化 硅基忆阻器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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