[发明专利]一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置及其加载方法有效
申请号: | 201910618257.6 | 申请日: | 2019-07-09 |
公开(公告)号: | CN110596076B | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 李帆;丁妍;杨党纲 | 申请(专利权)人: | 中国航发北京航空材料研究院 |
主分类号: | G01N21/67 | 分类号: | G01N21/67;G01N21/13;G01N21/11;G01N21/01 |
代理公司: | 中国航空专利中心 11008 | 代理人: | 陈宏林 |
地址: | 100095 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明是一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置及其加载方法,该方法将样品放在自动样品加载装置的载物台底部,与辉光放电光谱仪功率供应器相连,旋转台的夹紧头将样品紧贴辉光放电光谱仪的激发孔,此时激发孔对应的样品激发位置为初始激发位置,在控制系统的控制下,辉光放电光谱仪进行检测等,得到在初始激发位置处的深度方向的元素含量分布检测数据,元素含量分布检测数据和初始激发位置信息传递给控制系统,得到在该位置的元素深度分布曲线,激发结束后,夹紧头后退,旋转台转到清洗头位置,按控制程序清洗;载物台移动到到设定的另一位置,进行激发和清洗。本方法可以实现全自动样品元素含量的三维分布信息的采集。 | ||
搜索关键词: | 一种 辉光 放电 光谱仪 自动 样品 加载 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置,其特征在于:该装置包括一个带Z轴龙门架(1)和X轴龙门架(2)的移动机构,载物台(3)安装在交叉设置的Z轴龙门架(1)和X轴龙门架(2)上并随控制系统(6)的控制沿Z轴龙门架(1)和X轴龙门架(2)移动,载物台(3)的承载面为弹性体并与辉光放电光谱仪(8)的功率供应器(5)连接;/n在载物台(3)的承载面的背面,设置由控制系统(6)控制的辉光放电光谱仪(8),辉光放电光谱仪(8)的激发孔(7)与移动机构相对;/n在载物台(3)的承载面的正面,设置一个旋转台(10),旋转台(10)的旋转轴向与所述龙门架坐系中的水平Y轴平行,/n在旋转台(10)的前端面上设置有杆状的夹紧头(11)和一号清洗头(12),旋转台(10)及夹紧头(11)、一号清洗头(12)由控制系统(6)控制,夹紧头(11)、一号清洗头(12)有内缩回旋转台(10)的结构。/n
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