[发明专利]一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法

摘要

本发明公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体，功能设计上，银膜高效反射可见红外波段，长波通介质反射膜反射紫外波段，同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合，常温蒸镀技术保持银膜光学性能，原子层沉积技术镀制无针孔致密膜，对银膜形成有效保护。本发明的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度，适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。

主权项

1.一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构，其特征在于：/n所述的银基薄膜结构膜系结构为：在反射镜镜体(1)之上依次镀制粘合层一(2)、银膜(3)、粘合层二(4)、匹配层膜堆一(5)、介质反射膜堆(6)及匹配层膜堆二(7)；/n所述反射镜镜体(1)为玻璃、熔石英、铝、钛、表面改性碳化硅或铍镜；/n所述的粘合层一(2)为Al₂O₃、Ni、Cr、NiCr合金或NiCrN合金的单一膜层或多层复合膜，膜层厚度为10～50nm；/n所述的银膜(3)的厚度为100～300nm；/n所述粘合层二(4)为Al₂O₃层，厚度为5～30nm；/n所述的匹配层膜堆一(5)为低折射率膜SiO₂和高折射率膜HfO₂的叠层，采用2层结构LH或4层结构LHLH，L为SiO₂，H为HfO₂；/n所述的介质反射膜堆(6)为低折射率膜SiO₂和高折射率膜HfO₂构成的200～400nm波段的介质反射膜堆，膜系结构为a(LH)^x、a(LH)^xb(LH)^y或a(LH)^xb(LH)^yc(LH)^z，其中a、b、c表示反射膜堆的中心波长系数值，满足a>b>c，x、y、z表示叠层周期数，分别为2～5、6～8、6～8；/n所述匹配层膜堆二(7)为低折射率膜SiO₂和高折射率膜HfO₂构成的叠层，采用单层结构L或三层结构LHL。/n