[发明专利]一种基于表面光栅的面发射激光器

摘要

一种基于表面光栅的面发射激光器。该激光器为脊形波导结构，自下而上包含：衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层；在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅；脊形波导上面不做电极，电极位于脊形波导两侧；在脊形波导与两侧电极之间刻蚀有沟槽；该激光器的下波导盖层中含有一个或多个电流限制区，或者是在上波导盖层中制作一个掩埋隧道结来限制电流。激光器的表面光栅包含两端的一阶光栅和中心区域的二阶光栅。一阶光栅主要起反馈的作用，二阶光栅的作用包括两个方面：一是提供垂直方向的输出，形成面发射；二是产生合适的相移，这样使得布拉格波长能够成为激光器的激射波长。本发明不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，降低了器件的制作成本。

主权项

1.一种基于表面光栅的面发射激光器，其特征在于，所述激光器主要包括中间的脊形波导结构以及两侧的上电极区，所述激光器的横截面自下而上包括衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层；所述上波导盖层的中间区域形成所述脊形波导的脊区，所述脊区表面刻有布拉格光栅；所述上电极区位于所述脊形波导的两侧，所述脊形波导与所述上电极区之间刻有沟槽；所述脊形波导区与所述上电极区之间通过高电导率层相连；所述下波导盖层或上波导盖层中含有高电阻区，用于限制电流注入的区域。