[发明专利]一种智能测距的晶圆寻边装置和方法

摘要

本发明涉及晶圆寻边技术领域，特别涉及一种智能测距的晶圆寻边装置和方法。所述一种智能测距的晶圆寻边装置，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；寻边装置底座连接所述载台；旋转手臂设置于载台上方；红外感应器设置于旋转手臂上；伺服马达红外测距手臂设置于旋转手臂上，红外线测距传感器设置于伺服马达红外测距手臂上；红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。通过该装置，可快速有效地对晶圆的notch角进行寻边，且就算寻边异常时，亦不存在降低机台的妥善率的问题，减少生产成本，提高产线生产力。

主权项

1.一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；/n所述寻边装置底座连接所述载台；/n所述旋转手臂固定设置于所述寻边装置底座上，所述旋转手臂设置于所述载台上方；/n所述载台用于存放待测物；/n所述红外感应器设置于所述旋转手臂上，所述红外感应器用于：对待测物中心点进行定位；/n所述伺服马达红外测距手臂设置于所述旋转手臂上，所述红外线测距传感器设置于所述伺服马达红外测距手臂上；/n所述伺服马达红外测距手臂用于：对待测物边缘进行定位；/n所述红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。/n