[发明专利]一种Al2O3/PMMA双层电介质OFETs高灵敏NO2气体传感器制备方法在审
| 申请号： | 201910619632.9 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110273146A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王丽娟;朱阳阳;孙强;王璐;侯宇航;仲赛;谢强 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12;C23C14/24;C23C14/14;C23C28/00;G01N27/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明是一种Al2O3/PMMA双层电介质OFETs高灵敏NO2气体传感器制备方法。在ITO玻璃衬底上采用溶胶‑凝胶法制备氧化铝薄膜，然后旋涂PMMA薄膜制备Al2O3/PMMA双层电介质。接着真空蒸镀p‑6P薄膜以诱导生长CuPc薄膜作为气体敏感层，最后真空沉积银叉指电极构成Al2O3/PMMA双层电介质OFETs高灵敏NO2气体传感器。制备的双层电介质传感器在室温下具有高稳定性、高灵敏度和响应度、低检测限、快速响应/回复等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 双层电介质 气体传感器 制备 薄膜 灵敏 法制备氧化铝 气体敏感层 薄膜制备 高灵敏度 高稳定性 快速响应 诱导生长 真空沉积 真空蒸镀 响应度 电极 传感器 衬底 凝胶 旋涂 银叉 回复 检测 | ||
【主权项】：
1.一种Al2O3/PMMA双层电介质OFETs高灵敏NO2气体传感器制备方法包括：ITO玻璃衬底（1），Al2O3凝胶层（2），PMMA介电层（3），p‑6P诱导层（4），CuPc敏感层（5），银叉指电极（6）。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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