[发明专利]一种微立体光刻制备柔性摩擦-压电复合式俘能器的方法

摘要

一种微立体光刻制备柔性摩擦‑压电复合式俘能器的方法，先进性压电材料的分散，然后进行压电光敏树脂的配制，再进行微结构波浪形压电俘能器的制备，将压电光敏树脂通过紫外光照射，利用微立体固化工艺制备成微结构波浪形压电薄膜，在微结构波浪形压电薄膜上下两侧粘连带有上、下金属电极的上、下柔性基底，上、下金属电极连接电源，并于烘箱中进行热极化，将烘箱冷却至室温后撤去电压，得到微结构波浪形压电俘能器；最后进行柔性摩擦‑压电复合俘能器的制备，将微结构波浪形压电俘能器放置在粘有摩擦材料的导电基底上构成柔性摩擦‑压电复合俘能器；本发明工艺简单、低成本、极大提高俘能器的输出性能。

主权项

1.一种微立体光刻制备柔性摩擦‑压电复合式俘能器的方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，压电材料的分散：将压电材料分散到有机溶剂中，在室温下用磁力搅拌机搅拌60分钟，然后用超声清洗机超声20分钟，使其分散均匀；第二步，压电光敏树脂(2)的配制：将第一步分散均匀的溶液以1％～10％质量分数与柔性光敏树脂混合，然后放入真空烘箱中加热使有机溶剂完全蒸发，得到压电光敏树脂(2)；第三步，微结构波浪形压电俘能器的制备：将压电光敏树脂(2)通过紫外光(1)照射，利用微立体固化工艺制备成微结构波浪形压电薄膜(3)，在微结构波浪形压电薄膜(3)上下两侧粘连带有上金属电极(5)、下金属电极(6)的上柔性基底(4)、下柔性基底(7)，上金属电极(5)连接电源(8)负极，下金属电极(6)连接电源(8)正极，并于温度80～120℃的烘箱中进行热极化，保持施加电压40～60分钟，然后在保持电压不变的情况下，将烘箱冷却至室温后撤去电压，得到微结构波浪形压电俘能器；第四步，柔性摩擦‑压电复合俘能器的制备：将第三步制备的微结构波浪形压电俘能器放置在粘有摩擦材料(9)的导电基底(10)上，构成柔性摩擦‑压电复合俘能器。