[发明专利]一种晶圆缺陷检测装置及其检测方法

摘要

本发明属于晶圆检测设备技术领域，尤其为一种晶圆缺陷检测装置，包括密封箱与晶圆本体，所述伸缩杆输出轴侧表面架设有驱动电机，所述伸缩杆的输出轴上套接有转盘，所述晶圆本体放置在转盘的上表面，所述辅助架的底面固定有X光测量头，所述X光测量头的一侧位于辅助架的底面设架设有摄像头，所述辅助架的两侧位于密封箱的内表面架设有补光板；X光测量头对晶圆本体的内部进行裂纹检测，补光板与第二补光灯给予不同角度的光照，便于灰尘暴露在拍摄图像中，密封箱、密封门、密封盖板对设备进行光线隔离，避免外界的光线对摄像头的拍摄造成干扰，提升数据的准确性。

主权项

1.一种晶圆缺陷检测装置，包括密封箱(1)与晶圆本体(5)，其特征在于：所述密封箱(1)内部架设有传动带(4)，所述传动带(4)的两端贯穿密封箱(1)的侧壁到达密封箱(1)的外部，所述密封箱(1)的两侧表面通过螺栓固定有密封盖板(3)，所述密封箱(1)的内底面通过螺栓固定有伸缩杆(10)，所述伸缩杆(10)输出轴侧表面架设有驱动电机(11)，所述伸缩杆(10)的输出轴上套接有转盘(12)，所述晶圆本体(5)放置在转盘(12)的上表面，所述晶圆本体(5)的上方位于密封箱(1)的内壁架设有辅助架(6)，所述辅助架(6)的底面固定有X光测量头(7)，所述X光测量头(7)的一侧位于辅助架(6)的底面设架设有摄像头(8)，所述辅助架(6)的两侧位于密封箱(1)的内表面架设有补光板(9)。