[发明专利]晶体管结构有效
| 申请号： | 201910628084.6 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN111009570B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘清;伊藤明 | 申请（专利权）人： | 安华高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/423;H01L21/336;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种晶体管结构包含衬底及在所述衬底上的鳍结构。所述鳍结构包含未经掺杂部分、第一经掺杂部分及第二经掺杂部分。所述晶体管结构包含在所述鳍结构上介于所述第一经掺杂部分与所述第二经掺杂部分之间的电极及在所述鳍结构上的绝缘层。所述晶体管结构包含在所述绝缘层中位于所述鳍结构的第一侧处且在所述电极与所述第二经掺杂部分之间的第一沟槽，及在所述绝缘层中位于所述鳍结构的第二侧处且在所述电极与所述第二经掺杂部分之间的第二沟槽。所述第一沟槽包含第一导电材料，且所述第二沟槽包含第二导电材料。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 结构 | ||
【主权项】：
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