[发明专利]一种显微热分布测试仪及测试方法在审
| 申请号： | 201910628813.8 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110333433A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 方方;林凯旋;邱岳;张凌寒 | 申请（专利权）人： | 广东金鉴实验室科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01J5/00 |
| 代理公司： | 佛山市广盈专利商标事务所(普通合伙) 44339 | 代理人： | 李俊 |
| 地址： | 510130 广东省广州市增城永宁*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种显微热分布测试仪，该显微热分布测试仪包括载物装置、探针装置、热成像相机装置、探针电源和上位机；载物装置包括载物台，所述探针装置包括测试探针；测试探针设置在载物台上方，测试探针与探针电源电性连接；热成像相机装置包括热成像相机与微距镜头，热成像相机设置在载物台上方，微距镜头设置在热成像相机的镜头上，微距镜头与载物台相对；热成像相机与上位机电性连接。该显微热分布测试仪微观热成像效果好，具有良好的实用性。另外，本发明还提供了一种显微热分布测试方法。 | ||
| 搜索关键词： | 热成像相机 热分布 显微 测试仪 测试探针 微距镜头 探针电源 探针装置 载物装置 载物台 载物 测试 电性连接 热成像 上位机 微观 机电 镜头 | ||
【主权项】：
1.一种显微热分布测试仪，其特征在于，所述显微热分布测试仪包括载物装置、探针装置、热成像相机装置、探针电源和上位机；所述载物装置包括载物台，所述探针装置包括测试探针；所述测试探针设置在所述载物台上方，所述测试探针与所述探针电源电性连接；所述热成像相机装置包括热成像相机与微距镜头，所述热成像相机设置在所述载物台上方，所述微距镜头设置在所述热成像相机的镜头上，所述微距镜头与所述载物台相对；所述热成像相机与所述上位机电性连接。
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