[发明专利]多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射方法有效
| 申请号： | 201910628957.3 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110205597B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 田修波;吴厚朴;巩春志 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 于歌 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射方法，属于材料制造技术领域，本发明为解决现有双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射方法中正向脉冲对负向脉冲所产生的离子的推动加速作用效率低的问题。本发明维持真空室的真空度为0.1～5.5Pa，开启多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源，对待镀样品进行薄膜沉积5～240min，多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源将双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源的单负向脉冲拆分为两段，分别为负向1脉冲和负向2脉冲，在负向1脉冲后施加正向1脉冲，在负向2脉冲后施加正向2脉冲，在负向1脉冲和正向1脉冲之间施加负向1高脉冲，在负向2脉冲和正向2脉冲之间施加负向2高脉冲。本发明用于磁控溅射。 | ||
| 搜索关键词： | 段式 极性 脉冲 功率 磁控溅射 方法 | ||
【主权项】：
1.多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射方法，其特征在于，它包括以下步骤：S1、将待镀样品浸泡在酒精中超声清洗10～30min，清洗后将待镀样品取出吹干，置于真空室内的样品架上，将真空室抽至真空度小于1×10‑2Pa；S2、对待镀样品进行离子轰击清洗，清洗时间为10～60min；S3、打开工作气体阀门，向真空室通入工作气体，并且维持真空室的真空度为0.1～5.5Pa，开启多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源，基体电源选择悬浮或连接偏压电源，对待镀样品进行薄膜沉积，薄膜沉积时间为5～240min；多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源将双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源的单负向脉冲拆分为两段，分别为负向1脉冲和负向2脉冲，在负向1脉冲后施加正向1脉冲，在负向2脉冲后施加正向2脉冲，在负向1脉冲和正向1脉冲之间施加负向1高脉冲，在负向2脉冲和正向2脉冲之间施加负向2高脉冲；S4、关闭多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源、基体电源和工作气体阀门，待样品冷却后取出。
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