[发明专利]三维形貌的测量方法及测量装置在审
| 申请号： | 201910628975.1 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN112212815A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 黄鑫 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三维形貌的测量方法，包括如下步骤：(a)建立与样品模型的轮廓结构相对应的理论光谱数据库，理论光谱数据库包括样品模型的轮廓参数及与轮廓参数对应的理论光谱；(b)采用第一测量方法对样品的测量区域进行测量，获得样品在测量区域的第一类型参数，第一类型参数为轮廓参数中的一个参数；(c)采用第二测量方法对样品的测量区域进行测量，获得样品在测量区域的测量光谱；(d)从理论光谱数据库获取与步骤(b)获得的第一类型参数对应的理论光谱；(e)将步骤(c)中获得的测量光谱与步骤(d)获取的理论光谱进行匹配，将匹配度最高的理论光谱所对应的轮廓参数作为样品的轮廓参数。其优点在于，实现对样品的三维形貌的精确快速的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 形貌 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
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