[发明专利]抑制NDIR气体传感器振动敏感性的方法及装置有效
| 申请号： | 201910631525.8 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110371920B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 刘宇航;刘秀洁;许诺;汪晓军 | 申请（专利权）人： | 北京机械设备研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01N21/3504 |
| 代理公司： | 北京云科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11483 | 代理人： | 张飙 |
| 地址： | 100854 北京市海淀区永*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种抑制NDIR气体传感器振动敏感性的方法及装置，属于传感器技术领域，该方法包括：在硬质基底上刻蚀微槽将待柔性化的功能单元离散化；在所述微槽内填充柔性材料，形成离散化的所述功能单元之间的柔性物理连接；通过背面的深刻蚀将所述微槽下方多余的硬质基底材料去除，形成由柔性材料连接的柔性结构。实现了NDIR中的各个功能单元的柔性化集成，在不依赖外部隔振系统的条件下提升NDIR气体传感器的振动环境适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 抑制 ndir 气体 传感器 振动 敏感性 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种抑制NDIR气体传感器振动敏感性的方法，其特征在于，所述方法包括：在硬质基底上刻蚀微槽将待柔性化的功能单元离散化；在所述微槽内填充柔性材料，形成离散化的所述功能单元之间的柔性物理连接；通过背面的深刻蚀将所述微槽下方多余的硬质基底材料去除，形成由柔性材料连接的柔性结构。
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