[发明专利]一种粒子群算法优化的快速光学图形修正方法

摘要

本发明公开了一种粒子群算法优化的快速光学图形修正方法，利用粒子群算法去优化求解一个局部区域内所有线段的最佳法向修正值，包括以下具体步骤：步骤1：半导体电路设计原始数据；步骤2：多边形依据边分段；步骤3：取出一个多边形相邻的线段；步骤4：计算各个线段的目标光强点；步骤5：随机初始化每个线段法向位移值作为一个解；步骤6：进行迭代；步骤7：得出判定值；步骤8：如果结果满意，结束迭代，否则，继续进行迭代。通过上述方式，本发明改变局部点的计算模型和多个点进行修正，在同样环境建立的光学模型下，能和国外主流软件修正结果基本一致，误差在2nm以内，达到了精度高和快速高效的效果。

主权项

1.一种粒子群算法优化的快速光学图形修正方法，其特征在于，利用粒子群算法去优化求解一个局部区域内所有线段的最佳法向修正值，包括以下具体步骤：/n步骤1 ：半导体电路设计原始数据/n解析版图设计数据，得到需要光刻的多边形，并建立数据结构进行管理；/n步骤2：多边形依据边分段/n根据光学临近效应对多边形的每一条边进行切分，建立多边形≥边≥线段的结构，形成三元树结构；/n步骤3：取出一个多边形相邻的线段/n从三元树结构中，依据空间关系找到单次一起参与计算的多边形线段，假设：一共N段参与计算；/n步骤4：计算各个线段的目标光强点/n根据步骤3找到的一组线段，即存在N段的总误差，构造解空间[x1,x2,x3…xn]；/n步骤5：随机初始化每个线段法向位移值作为一个解/n构造解空间[x1,x2,x3…xn]的一组N维随机解；/n步骤6：进行迭代/n将步骤5的随机解，进入粒子群算法进行迭代；/n步骤7：得出判定值/n通过约束函数，即N段的总误差的判断，输出结果进行判定，得出总误差值，即判定值；/n步骤8：如果结果满意，结束迭代，否则，继续进行迭代/n如总误差值小于最大可接受值或到达最大迭代次数，输出找到的最优值，结束迭代；如总误差值未达到最大迭代次数且输出值大于最大可接受值，继续进行下一次迭代。/n