[发明专利]体声波谐振器器件、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 201910634088.5 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111010129A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及体声波谐振器器件，包括第一基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层；和第一吸热结构，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；且所述第一吸热结构设置在声学镜中，且与所述底电极在谐振器的厚度方向上间隔开。本发明还涉及滤波器与电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 器件 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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