[发明专利]音叉敏感结构修调在线测试方法及角速率传感器

摘要

本发明提供了一种音叉敏感结构修调在线测试方法及角速率传感器，该方法包括：求取驱动模态的谐振频率；向驱动通道施加激励电压频率值为驱动模态的谐振频率的激励信号以及产生机械耦合解调参考信号幅值；获取机械耦合误差信号幅值以及实际的驱动模态谐振频率；求取激励电压为白噪声下的检测模态的谐振频率；获取实际的检测模态谐振频率；根据实际的驱动模态谐振频率和实际的检测模态谐振频率求取谐振频率差值；判断当前机械耦合误差信号幅值以及谐振频率差值是否满足要求，如果未满足，则进行修调，重复上述步骤，直至修调后的敏感结构满足测试要求。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中无法准确测量音叉敏感结构的耦合误差量的技术问题。

主权项

1.一种音叉敏感结构修调在线测试方法，其特征在于，所述音叉敏感结构修调在线测试方法包括：步骤一，采用模拟开关单元将外部激励信号输入通道与敏感结构驱动通道连通，采用宽频范围白噪声激励的方法求取激励电压为白噪声下的驱动模态的谐振频率；步骤二，通过所述测试电路向敏感结构的驱动通道施加激励电压频率值为所述驱动模态的谐振频率的激励信号以及产生机械耦合解调参考信号，分别采集敏感结构驱动通道的输出信号以及检测通道的输出信号；步骤三，根据所述检测通道的输出信号以及所述机械耦合解调参考信号从综合耦合误差信号中获取机械耦合误差信号幅值，根据敏感结构的驱动通道的输出信号获取实际的驱动模态谐振频率；步骤四，采用所述模拟开关单元将外部激励信号输入通道与敏感结构检测通道连通，采用宽频范围白噪声激励的方法求取激励电压为白噪声下的检测模态的谐振频率；步骤五，通过所述测试电路向敏感结构的检测通道施加激励电压频率值为所述检测模态的谐振频率的激励信号，采集所述检测通道的输出信号，根据所述检测通道的输出信号获取实际的检测模态谐振频率；步骤六，根据所述实际的驱动模态谐振频率和实际的检测模态谐振频率求取谐振频率差值；步骤七，根据结构修调所需的耦合控制目标要求，判断当前机械耦合误差信号幅值以及谐振频率差值是否满足要求，如果当前机械耦合误差信号幅值以及谐振频率差值均已满足要求，则停止测试；如果当前机械耦合误差信号幅值以及谐振频率差值中的任意一个未满足要求，根据当前机械耦合误差信号幅值对所述敏感结构进行修调，重复所述步骤一至所述步骤七，对修调后的敏感结构进行测试，直至修调后的所述敏感结构满足测试要求。