[发明专利]电子元器件外壳外观缺陷测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 201910635367.3 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110441310A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 刘世杰;倪开灶;周游;徐天柱;潘靖宇;王圣浩;王微微;白云波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电子元器件外壳外观缺陷测量装置和测量方法，该装置主要包括第一CCD相机、第一变倍镜头、环形光源、第一同轴照明光源、第一光纤、第二CCD相机、第二变倍镜头、第二同轴照明光源、第二光纤、旋转位移台、光源控制模块、图像采集控制模块、机械运动控制模块和计算机。本发明根据电子元器件外壳不同封装材料的表面粗糙程度及反射特性，采用散射暗场成像和同轴照明成像的方式，能够检测各类电子元器件外壳表面缺陷，获取高对比度缺陷图像。采用正面和侧面成像方式，结合旋转位移台实现不同封装形式的电子元器件外壳正面、所有侧面及引出端表面缺陷测量。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元器件外壳 变倍镜头 测量装置 同轴照明 外观缺陷 旋转位移 光源 机械运动 光纤 图像采集控制模块 测量 表面缺陷测量 光源控制模块 暗场成像 表面缺陷 侧面成像 反射特性 封装材料 封装形式 高对比度 环形光源 控制模块 缺陷图像 照明成像 引出端 散射 侧面 计算机 检测 | ||
【主权项】：
1.一种电子元器件外壳外观缺陷测量装置，其特征在于，包括第一CCD相机(1)、第一变倍镜头(2)、环形光源(3)、第一同轴照明光源(4)、第一光纤(5)、第二CCD相机(6)、第二变倍镜头(7)、第二同轴照明光源(8)、第二光纤(9)、电子元器件(10)、旋转位移台(11)、光源控制模块(12)、图像采集控制模块(13)、机械运动控制模块(14)和计算机(15)；所述的旋转位移台(11)包含X、Y、Z方向的直线移动机构和在XY面内360°任意角度转动的旋转机构，所述的待测的电子元器件(10)置于所述的旋转位移台(11)上；所述的第一CCD相机(1)、第一变倍镜头(2)和环形光源(3)位于所述的电子元器件(10)的上方，所述的环形光源(3)固定在所述的第一变倍镜头(2)上，所述的环形光源(3)的中心轴与所述的第一变倍镜头(2)的光轴共线，所述的第一变倍镜头(2)的光轴沿Z轴方向并与所述的电子元器件(10)的上表面的法线平行；所述的第一光纤(5)的输入端和输出端分别与所述的第一同轴照明光源(4)的输出端及第一变倍镜头(2)的光纤插入槽连接；所述的第二CCD相机(6)和第二变倍镜头(7)位于所述的电子元器件(10)的侧面，所述的第二变倍镜头(7)的光轴沿X轴方向并与所述的电子元器件(10)的上表面的法线垂直；所述的第二光纤(9)的输入端和输出端分别与所述的第二同轴照明光源(8)的输出端及第二变倍镜头(7)的光纤插入槽连接；所述的第一变倍镜头(2)和第二变倍镜头(7)是远心镜头；所述的计算机(15)与所述的光源控制模块(12)、图像采集控制模块(13)、机械运动控制模块(14)连接，所述的光源控制模块(12)与所述的环形光源(3)、第一同轴照明光源(4)和第二同轴照明光源(8)连接，所述的图像采集控制模块(13)与所述的第一CCD相机(1)和第二CCD相机(6)连接，所述的机械运动控制模块(14)与所述的旋转位移台(11)连接。
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