[发明专利]利用多光束激光干涉制作衍射光学器件的方法在审
| 申请号： | 201910635606.5 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110320582A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 赵晓杰;陶沙;秦国双 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 王海滨 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种利用多光束激光干涉制作衍射光学器件的方法，包括，将光刻胶涂覆在透明的晶圆材料表面；使用多束激光在光刻胶表面或内部特定位置产生干涉点或条纹，进而在干涉点或条纹处产生光刻胶的聚合、固化，完成所需的固化图案；使用有机溶剂将未固化的光刻胶洗去；通过化学或等离子体刻蚀的方式，在晶圆材料表面进行刻蚀，以将没有固化光刻胶覆盖的晶圆材料表面刻蚀；将残余的固化光刻胶洗去，得到衍射光学器件；对衍射光学器件进行分切，得到单个衍射光学器件。本发明制作的衍射光学器件的分辨率小于1um，相对于常规的激光加工方式，使用该方法来加工的衍射光学器件加工速度更快，具有高度的空间选择性；同时该方法适用于各种不同的晶圆材料的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射光学器件 晶圆材料 光刻胶 多光束激光 干涉点 固化光 条纹 固化 制作 加工 等离子体刻蚀 激光加工方式 光刻胶表面 空间选择性 表面刻蚀 多束激光 有机溶剂 残余的 常规的 透明的 未固化 干涉 分辨率 分切 刻蚀 涂覆 聚合 图案 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种利用多光束激光干涉制作衍射光学器件的方法，其特征在于：包括，步骤一、将光刻胶涂覆在透明的晶圆材料表面；步骤二、使用多束激光在光刻胶表面或内部特定位置产生干涉点或条纹，进而在干涉点或条纹处产生光刻胶的聚合、固化，完成所需的固化图案；步骤三、使用有机溶剂将未固化的光刻胶洗去；步骤四、通过化学或等离子体刻蚀的方式，在晶圆材料表面进行刻蚀，以将没有固化光刻胶覆盖的晶圆材料表面刻蚀；步骤五、将残余的固化光刻胶洗去，得到衍射光学器件；步骤六、对衍射光学器件进行分切，得到单个衍射光学器件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英诺激光科技股份有限公司，未经英诺激光科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910635606.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光栅结构、显示装置及其显示方法
- 下一篇：可见光三波峰镀膜工艺
