[发明专利]红外三波峰镀膜工艺在审
申请号: | 201910636162.7 | 申请日: | 2019-07-15 |
公开(公告)号: | CN110456437A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 王刚;葛文志;翁钦盛 | 申请(专利权)人: | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28 |
代理公司: | 33260 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 张瑜<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 310000浙江省杭州市杭州经*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种红外三波峰镀膜工艺,包括镀膜设备、滤光片,镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透,其中,第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止,中心波长820‑1100nm之间进行增透;第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透,中心波长1100‑1200nm之间进行截止;第三膜堆对中心波长870‑900nm、870‑1010nm两个区域进行截止,中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透;滤光片镀膜后形成的镀膜滤光片在中心波长850nm、中心波长940nm、中心波长1060nm处设有3个透过区域。本发明设计合理,工艺简单,可以使滤光片在镀膜中形成三个红外透过区域。 | ||
搜索关键词: | 中心波长 膜堆 滤光片 增透 截止 高低折射率材料 镀膜设备 透过区域 波段 镀膜 叠加 镀膜滤光片 镀膜工艺 镀膜过程 红外区域 波峰 | ||
【主权项】:
1.一种红外三波峰镀膜工艺,包括镀膜设备、滤光片,其特征在于,所述的镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透,其中,所述的第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止,中心波长820-1100nm之间进行增透;所述的第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透,中心波长1100-1200nm之间进行截止;所述的第三膜堆对中心波长870-900nm、870-1010nm两个区域进行截止,中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透。/n
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