[发明专利]一种大面积高均匀性主动冷却的级联弧阴极结构在审
| 申请号： | 201910636462.5 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110402010A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 周海山;袁小刚;李波;罗广南;杨鑫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/48 | 分类号： | H05H1/48 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 张果果 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大面积高均匀性主动冷却的级联弧阴极结构，包括有阴极基板，在阴极基板的两端分别设有水冷入口和水冷出口，在阴极基板的内部设有连接水冷入口和水冷出口的蛇形水冷管道，在阴极基板的背面密封连接有气体缓冲腔，在阴极基板的正面上固定安装有多个电极针尖，在每个电极针尖的四周均开有多个阴极板出气孔，阴极板出气孔与所述的气体缓冲腔相通，所述的阴极基板内部的蛇形水冷管道与阴极板出气孔位置错开。本发明具有以下优点：1.获得大面积的等离子体；2.等离子体具有较高的均匀性；3.放电过程稳定；4.阴极降温效率高，提高阴极的使用寿命。4.电极针尖可拆卸结构，具有良好的经济性。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极基板 阴极板 电极 针尖 等离子体 阴极 气体缓冲腔 高均匀性 水冷出口 水冷管道 阴极结构 主动冷却 蛇形 出气孔 级联 水冷 出气孔位置 可拆卸结构 放电过程 降温效率 密封连接 使用寿命 均匀性 错开 背面 相通 | ||
【主权项】：
1.一种大面积高均匀性主动冷却的级联弧阴极结构，其特征在于：包括有阴极基板，在阴极基板的两端分别设有水冷入口和水冷出口，在阴极基板的内部设有连接水冷入口和水冷出口的蛇形水冷管道，在阴极基板的背面密封连接有气体缓冲腔，在阴极基板的正面上固定安装有多个电极针尖，在每个电极针尖的四周均开有多个阴极板出气孔，阴极板出气孔与所述的气体缓冲腔相通，所述的阴极基板内部的蛇形水冷管道与阴极板出气孔位置错开。
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