[发明专利]大直径高效N型单晶硅的制备装置在审
| 申请号： | 201910637011.3 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110184646A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉豪;徐文州;陈磊;樊茂德 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够实现二次硅料添加，保证足够硅料制备较大直径单晶硅的大直径高效N型单晶硅的制备装置。该大直径高效N型单晶硅的制备装置，包括炉体；所述炉体上方设置有上炉腔；所述炉体的炉膛内设置有坩埚、石墨托、底部旋转支撑杆；所述炉体的顶部设置有二次加料装置；所述二次加料装置包括硅料存储筒、硅料加热熔融装置；所述硅料加热熔融装置包括筒体；筒体内设置有加热坩埚、熔融加热装置；所述加热坩埚底部设置有底部加热装置；加热坩埚底部设置有出料口；所述筒体底部设置有与出料口连通的导料管；所述导料管穿过炉体的顶部延伸到坩埚内。采用该大直径高效N型单晶硅的制备装置，能够降低生产设备的成本，降低能耗，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 制备装置 硅料 加热坩埚 二次加料装置 加热熔融装置 出料口 导料管 筒体 坩埚 炉膛 大直径单晶硅 底部加热装置 旋转支撑杆 顶部设置 加热装置 降低生产 生产效率 存储筒 上炉腔 石墨托 次硅 熔融 制备 连通 体内 穿过 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.大直径高效N型单晶硅的制备装置，其特征在于：包括炉体(1)；所述炉体(1)上方设置有上炉腔(7)；所述上炉腔(7)上方设置有晶棒提升旋转装置(8)；所述炉体(1)的炉膛内设置有坩埚(3)；所述坩埚(3)下方设置有石墨托(2)；所述石墨托(2)下方设置有底部旋转支撑杆(14)；所述坩埚(3)外侧设置有加热装置(5)以及保温罩(4)；所述炉体(1)底部设置有第一保护气出口(16)；所述上炉腔(7)上设置有第一保护气入口(71)以及第一抽真空口(72)；其特征在于：所述炉体(1)的顶部设置有二次加料装置(10)；所述二次加料装置(10)包括硅料存储筒(101)、硅料加热熔融装置；所述硅料加热熔融装置，包括筒体(103)；所述筒体(103)内设置有加热坩埚(106)；所述加热坩埚(106)外侧与筒体(103)的内壁之间设置有熔融加热装置(107)；所述筒体(103)的内壁以及底部均设置有保温层(105)；所述加热坩埚(106)底部设置有底部加热装置(102)；所述加热坩埚(106)底部设置有出料口(115)；所述筒体(103)顶部设置有第二保护气入口(109)以及第二抽真空口(110)，所述筒体(103)底部设置有第二保护气出口(111)；所述硅料存储筒(101)的底部与筒体(103)顶部之间设置有导料管(116)；所述导料管(116)上设置有阀门(117)；所述加热坩埚(106)中心位置设置有石墨推杆(113)；所述石墨推杆(113)下端设置有与出料口(115)匹配的锥形推头(114)；所述石墨推杆(113)穿过筒体(103)以及硅料存储筒(101)；所述硅料存储筒(101)顶部设置有驱动石墨推杆(113)上下移动的伸缩装置(112)；所述筒体(103)底部设置有与出料口(115)连通的导料管(104)；所述导料管(104)穿过炉体(1)的顶部延伸到坩埚(3)内。
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