[发明专利]一种嵌入式叠层结构制备装置及方法

摘要

本发明公开了一种嵌入式叠层结构制备装置及方法。本发明提供的装置包括上层喷头、下层喷头、单刃刀片、上层储液箱、上层溶液泵、下层储液箱、下层溶液泵、运动平台、基底、静电屏蔽罩和高压电源。本发明采用上层喷头和下层喷头同时直写，通过高压静电进行精准定位，高效地制备出微纳米级别的嵌入式叠层结构，解决现有技术制备嵌入式叠层结构效率低、结构形状精度低、结构上下不对称、结构尺度大等问题。

主权项

1.一种嵌入式叠层结构制备装置，其特征是，包括：上层喷头、下层喷头、单刃刀片、上层储液箱、上层溶液泵、下层储液箱、下层溶液泵、运动平台、基底、高压电源和运动平台驱动器；/n上层喷头与下层喷头竖直平行设置；单刃刀片设于下层喷头水平侧面且单刃刀片的刀尖低于下层喷头；所述下层喷头与单刃刀片的刀尖都插入基底；所述上层喷头、下层喷头与单刃刀片设置于同一水平直线上；所述上层喷头的下端与基底上表面之间保持预设高度的间距；上层储液箱、上层溶液泵和上层喷头三者连通，上层溶液泵将上层溶液输送至上层喷头；下层储液箱、下层溶液泵和下层喷头三者连通，下层溶液泵将下层溶液输送至下层喷头；/n所述运动平台设置于上层喷头与下层喷头正下方，并且所述运动平台与所述运动平台驱动器连接，通过运动平台驱动器编程实现运动平台按照预设路径和速度在XYZ轴方向上移动；基底可固定设于运动平台上表面；/n所述上层喷头与下层喷头均由导电材料制成，所述上层喷头与所述下层喷头分别与高压电源电性连接且两者电性相反。/n