[发明专利]大幅面光学偏振图案生成装置及生成方法有效
申请号: | 201910639753.X | 申请日: | 2019-07-16 |
公开(公告)号: | CN112241070B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 黄文彬;郑致刚;钱逻毅 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G02B27/28 | 分类号: | G02B27/28;G02F1/1337 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 黄珩 |
地址: | 215000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种大幅面光学偏振图案生成装置,包括依次连接的照明部件、偏振图案生成部件、微缩成像部件、成像检测及拼接部件;照明部件,用于实现单一偏振准直均匀面光斑;偏振图案生成部件包括四分之一波片和相位调制器,用于输出偏振图案;微缩成像部件用于对偏振图案生成部件输出的偏振图案进行微缩,并写入到光敏材料中;成像检测及拼接部件包括成像检测子部件、焦距标定子部件;成像检测子部件包括双光路图案监测成像组件和图案拼接组件。本发明综合光学系统、运动控制系统及检测系统,具有单次曝光偏振图案高精度任意可控、效率高、可实现大面积光学偏振图案等优点。 | ||
搜索关键词: | 大幅面 光学 偏振 图案 生成 装置 方法 | ||
【主权项】:
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