[发明专利]一种靶材及提高靶材利用率的方法与应用有效
| 申请号： | 201910640529.2 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110241392B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;蒋云霞;王学泽;呼雷 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种靶材及提高靶材利用率的方法与应用，所述方法包括如下步骤：使靶材的塑性变形量≥70％，然后对变形后的靶材进行第一热处理，自然冷却后得到经预处理的靶材；对经预处理的靶材的溅射最快区域进行第二热处理。本发明通过对靶材的溅射最快区域进行热处理，使溅射最快区域内的靶材晶粒的粒径增大，从而降低溅射最快区域的溅射速度，使靶材的利用率从35％提升至43％，且成膜效果良好，所述方法无需对磁场强度进行调节，也不需要对靶材的厚度进行调节，从而在保证磁控溅射强度的前提下提高了靶材的利用率，且所述方法的通用性高，可应用于不同强度的磁场环境；所述方法得到的靶材应用于磁控溅射时具有较高的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 利用率 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种提高靶材利用率的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)使靶材的塑性变形量≥70％，然后对变形后的靶材进行第一热处理，自然冷却后得到经预处理的靶材；(2)对步骤(1)所得经预处理的靶材的溅射最快区域进行第二热处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910640529.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
