[发明专利]彩膜阵列基板的制备方法及彩膜阵列基板

摘要

本申请提供一种彩膜阵列基板的制备方法及彩膜阵列基板。彩膜阵列基板的制备方法，包括在基板上形成薄膜晶体管阵列结构层；在薄膜晶体管阵列结构层上形成一保护层；在保护层上形成色阻层；在色阻层上形成平坦层；在平坦层、色阻层和保护层上形成开孔结构，开孔结构同时贯穿所述平坦层、色阻层和保护层且裸露出所述源漏金属层；在平坦层上形成透明导电层，透明导电层覆盖开孔结构并与源漏金属层电性连接。在色阻层的制程时，不进行开孔处理，而在完成平坦层后进行开孔处理，将平坦层、色阻层和保护层贯通形成开孔结构；这样的设置，一是避免了色阻层开口的需求，降低了色阻层的开发难度；二是提高了产品的开口率。

主权项

1.一种彩膜阵列基板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一基板；在所述基板上形成薄膜晶体管阵列结构层，所述薄膜晶体管阵列结构层包括源漏金属层；在所述薄膜晶体管阵列结构层上形成一保护层；在所述保护层上形成色阻层；在所述色阻层上形成平坦层；在所述平坦层、色阻层和保护层上形成开孔结构，所述开孔结构同时贯穿所述平坦层、所述色阻层和所述保护层且裸露出所述源漏金属层；在所述平坦层上形成透明导电层，所述透明导电层覆盖所述开孔结构并与所述源漏金属层电性连接。