[发明专利]线域频域光学相干层析系统及其纵向坐标标定方法

摘要

本发明涉及一种线域频域光学相干层析系统，包括：光源模块，光源发出的光经凸透镜准直为平行光束；迈克尔逊干涉仪模块，用于将平行光束聚焦并分光为两束光线，一束汇聚于参考镜，另一束汇聚于待测样品表面，两束光经反射后重合发生干涉；线光谱仪模块，干涉光束入射反射式光栅按波长在空间分光后汇聚成干涉谱线，由面阵相机采集图像信号；以及具有图像处理模块的计算机，用于接收、存储、处理图像信号；系统还配设有纵向坐标标定装置，包括：可调狭缝结构，用于调整通过狭缝照射到待测样品上的检测光；以及狭缝位移平台，用于驱动可调狭缝结构位移。该系统可对纵向坐标进行准确标定，确定线域频域光学相干层析检测的纵向坐标。

主权项

1.一种线域频域光学相干层析系统，其特征在于，包括：光源模块，包括光源（或SLD光源）（1）和凸透镜（2），光源（1）发出的光经凸透镜（2）准直为平行光束，用于频域光相干层析检测；迈克尔逊干涉仪模块，包括第一柱透镜（3）、分光镜（4）和参考镜（5），第一柱透镜（3）将平行光束聚焦为焦线，分光镜（4）将光束分束为强度相等的两束光线，一束作为参考光汇聚于参考镜（5），另一束作为检测光汇聚于待测样品（8）表面，两束光经反射后重合发生干涉；线光谱仪模块，包括第二柱透镜（10）、反射镜（11）、反射式光栅（12）、第三柱透镜（13）和面阵相机（14），干涉光束经第二柱透镜（10）汇聚和反射镜（11）反射后入射到反射式光栅（12）上，反射式光栅（12）将入射光按波长在空间分光后由柱透镜汇聚成干涉谱线，由面阵相机采集获得二维干涉条纹图像信号；以及具有图像处理模块的计算机，用于控制系统各模块工作，以及接收、存储、处理面阵相机传输来的二维干涉光谱图像信号；所述线域频域光学相干层析系统还配设有纵向坐标标定装置，所述纵向坐标标定装置包括：可调狭缝结构（9），设于分光镜（4）与待测样品（8）之间的检测光路上，用于调整通过狭缝照射到待测样品上的检测光，狭缝宽度可调；以及狭缝位移平台，用于驱动可调狭缝结构进行横向和纵向位移。