[发明专利]一种半导体生产用固晶结构有效

专利信息
申请号: 201910641074.6 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN110335840B 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 陈梅业 申请(专利权)人: 安徽三优光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 胡剑辉
地址: 243000 安徽省马*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种半导体生产用固晶结构,所述底座与工作箱均为长方体结构,所述底座与工作箱的长度一致,且工作箱的宽度为底座宽度的一半,所述工作箱固定架设在底座的表面上,所述底座的表面上固定设置有转盘,且在转盘的盘面两侧对称设置有装夹块,所述工作箱的正面上开设有矩形槽口,所述转盘的一半部分贯穿矩形槽口设置在工作箱的内部,所述转盘的另一半部分贯穿矩形槽口设置在工作箱的外部,通过在转盘的盘面对称设置两个装夹块,当操作人员对一侧装夹块进行装夹时,另一侧装夹块上完成半导体固晶加工,提高半导体固晶加工生产效率,将装夹块固定在加热板上,通过加热板完成装夹块进行同步加热,使半导体的固晶加工质量好。
搜索关键词: 一种 半导体 生产 用固晶 结构
【主权项】:
1.一种半导体生产用固晶结构,其特征在于:包括底座(1)和工作箱(2),所述底座(1)与工作箱(2)均为长方体结构,所述底座(1)与工作箱(2)的长度一致,且工作箱(2)的宽度为底座(1)宽度的一半,所述工作箱(2)固定架设在底座(1)的表面上,所述底座(1)的表面上固定设置有转盘(12),且在转盘(12)的盘面两侧对称设置有装夹块(14),所述工作箱(2)的正面上开设有矩形槽口,所述转盘(12)的一半部分贯穿矩形槽口设置在工作箱(2)的内部,所述转盘(12)的另一半部分贯穿矩形槽口设置在工作箱(2)的外部;所述底座(1)的内部为空腔结构,且在底座(1)的内部水平设置有支撑板(16),所述支撑板(16)的板面中心位置通过电机安装座固定设置有电机一(15),所述电机一(15)的输出端与转盘(12)的底面中心位置固定连接,所述转盘(12)的圆弧侧面上设置有环形块(122),且在底座(1)的表面上开设有供转盘(12)转动的圆形槽,且在圆形槽的内部圆弧侧面上开设有与环形块(122)相适配的环形槽一(121),所述转盘(12)通过环形块(122)转动连接在底座(1)的环形槽一(121)内,所述底座(1)的底面上开设有供散热扇(17)的安装槽口,所述散热扇(17)的出风口贯穿底座(1)的底面设置在底座(1)的外部;所述工作箱(2)的内部水平设置有连接板(22),且在工作箱(2)外部顶面上固定设置有液压缸(21),所述液压缸(21)的活塞杆贯穿工作箱(2)的顶面与连接板(22)的表面相抵,所述工作箱(2)内部两侧的侧壁在竖直方向上开设有T型槽一(221),所述连接板(22)的两侧设置有与T型槽一(221)相适配的T型块,所述连接板(22)通过两侧的T型块滑动连接在工作箱(2)内部的T型槽一(221)内,所述连接板(22)的表面一端通过电机安装座固定设置有电机二(24),所述电机二(24)的输出端固定设置在齿轮一(241),所述连接板(22)底面的两端固定设置有螺杆固定架(251),且在连接板(22)两侧的螺杆固定架(251)上设置有螺杆(25),所述螺杆(25)的一端贯穿螺杆固定架(251)进行设置,且位于螺杆固定架(251)外侧的螺杆(25)上固定设置有齿轮二(243),所述齿轮一(241)与齿轮二(243)通过齿轮带(242)啮合连接,且位于螺杆固定架(251)中间位置的螺杆(25)上通过螺纹连接设置有螺母座(252),所述螺母座(252)的底面上通过电机安装座设置有电机三(26),所述电机三(26)的输出端通过联轴器设置有转轴,且在转轴的另一端固定连接有摆臂固定架(261),所述摆臂固定架(261)的另一端固定连接有固晶摆臂(262)。
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