[发明专利]场发射中和器有效

专利信息
申请号: 201910642707.5 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN112242277B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 柳鹏;周段亮;张春海;潜力;王昱权;郭雪伟;马丽永;王福军;范守善 申请(专利权)人: 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
主分类号: H01J1/304 分类号: H01J1/304;H01J1/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100084 北京市海淀区清*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种场发射中和器,包括一底板以及至少一个阴极发射单元固定在该底板上,该阴极发射单元包括一基板,一壳体,至少一阴极发射体,一栅网,以及一屏蔽层,该壳体位于所述基板上,所述至少一阴极发射体固定在壳体内部并与栅网绝缘间隔设置,该栅网与屏蔽层绝缘间隔设置,该壳体具有一开口,栅网包括多个栅孔,屏蔽层具有一通孔,该至少一阴极发射体发射的电子穿过开口、栅孔及通孔发射出去,该阴极发射体包括两个阴极电极片以及一石墨化的碳纳米管结构,该两个阴极电极片层叠设置并夹持石墨化的碳纳米管结构,使石墨化的碳纳米管结构分为第一部分和第二部分,第一部分夹持在两个阴极电极片之间,第二部分暴露在所述阴极电极片的外部。
搜索关键词: 发射 中和
【主权项】:
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