[发明专利]用于借助电磁射束检测物体表面的设备和方法有效
| 申请号： | 201910643145.6 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110726382B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | A.贝切;D.贝克曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01B11/24;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于检测物体表面的设备和方法。该设备具有：射束产生装置，其具有至少一个射束源且被配置成使具有第一波长的第一电磁射束和具有第二波长的第二电磁射束照射到物体表面的至少一个待测量的测量点上或照射到物体表面的待测量区域上，待测量区域具有至少一个待测量的测量点，射束产生装置被配置成在第一波长与第二波长之间的波长范围中不使射束或不使用于表面检测的射束照射到物体表面的待测量的测量点上或区域上；检测装置，其被配置成针对待测量的测量点或针对这些待测量的测量点分别检测至少一个第一测量值和至少一个第二测量值，第一测量值基于从物体表面反射的、具有第一波长的射束，第二测量值基于从物体表面反射的、具有第二波长的射束。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 借助 电磁 检测 物体 表面 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测物体表面(16)的设备(10)，该设备具有：/n射束产生装置(17)，该射束产生装置具有至少一个射束源(12)，其中该射束产生装置(17)被配置成用于使具有第一波长的第一电磁射束和具有第二波长的第二电磁射束照射到物体表面(16)的至少一个待测量的测量点(32)上或照射到物体表面(16)的待测量区域上，该待测量区域具有至少一个待测量的测量点(32)，其中该射束产生装置(17)被配置成用于在该第一波长与该第二波长之间的波长范围中不使射束或不使用于表面检测的射束照射到该物体表面(16)的待测量的测量点(32)上或区域上；以及/n检测装置(31)，该检测装置被配置成用于针对该待测量的测量点(32)或针对这些待测量的测量点(32)分别检测至少一个第一测量值和至少一个第二测量值，其中该第一测量值基于从该物体表面(16)反射的、具有第一波长的射束，而该第二测量值基于从该物体表面(16)反射的、具有第二波长的射束，/n其特征在于，/n该第一测量值和该第二测量值分别是距离该物体表面(16)的距离值。/n
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