[发明专利]一种无损测量微球直径均匀度的测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910643473.6 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110333170B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 宋丽军;张鹏飞;李刚;张天才 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N21/25 |
| 代理公司： | 太原申立德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14115 | 代理人： | 程园园 |
| 地址： | 030006*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于微球结构器件尺寸参数均匀度的测量技术领域，具体涉及一种无损测量微球直径均匀度的测量装置及方法。本发明的目的是解决微球直径均匀度的测量和标定过程中对微球产生破环性而无法重复使用的问题。本发明包括测试激光器、纳米光纤、待测微球和光电探测器，所述测试激光器与纳米光纤的输入端连接，所述纳米光纤的输出端与光电探测器的输入端连接。本发明微球接触纳米光纤的过程只是点接触，对微球透射率及表面特性没有影响，测量后微球可以继续使用，能够无损测量微球直径均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无损 测量 直径 均匀 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种无损测量微球直径均匀度的测量装置，其特征在于：包括测试激光器(1)、纳米光纤(2)、待测微球(3)和光电探测器(4)，所述测试激光器(1)与纳米光纤(2)的输入端连接，所述纳米光纤(2)的输出端与光电探测器(4)的输入端连接，所述纳米光纤(2)用于与待测微球(3)进行接触耦合，以便于光电探测器(4)测得纳米光纤(2)接触待测微球(3)不同位置下的激光透射谱。
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