[发明专利]一种用于KDP晶体的抛光液及其制备方法、应用有效
申请号: | 201910645289.5 | 申请日: | 2019-07-17 |
公开(公告)号: | CN110295011B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 董会;潘金龙;郭亮龙;黄姝珂;王超;王利利;李晓媛;叶敏恒 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | C09G1/04 | 分类号: | C09G1/04;B24B57/02 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 唐邦英 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于KDP晶体的抛光液及其制备方法、应用,所述抛光液由以下体积百分比组分组成:极性相:1~10%;非极性相:30%~55%;余量为双溶剂相。本发明的抛光液制备方法简单、性质稳定,在较低的抛光压力下(1~2.5kPa)即可实现飞切刀纹的有效去除,避免了较高的抛光压力可能带来亚表面损伤等问题,且抛光后表面粗糙度得到一定程度的改善。抛光液成分为常用有机试剂且不与KDP发生化学反应,抛光液不使用两亲性表面活性剂,抛光后只需要采用抛光液的组分之一(双溶剂相)进行简单的表面冲洗,即可实现表面清洁,不会在表面产生任何的杂质残留。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 kdp 晶体 抛光 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种用于KDP晶体的抛光液,其特征在于,所述抛光液由以下体积百分比组分组成:极性相:1~10%;非极性相:30%~55%;余量为双溶剂相。
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