[发明专利]一种硅微粉的处理方法和处理装置在审

专利信息
申请号: 201910647252.6 申请日: 2019-07-17
公开(公告)号: CN110314420A 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 宫尾秀一;郑秉胄 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B01D21/02 分类号: B01D21/02;B01F7/18;C02F1/52
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;胡影
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种硅微粉的处理方法和处理装置,处理方法包括以下步骤:在硅材料加工过程中,通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液;收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态。根据本发明实施例的硅微粉的处理方法,在硅材料加工过程中,通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液,收集处理液并使处理液处于流动状态,超纯水中不含有离子,不易使得硅微粉出现沉淀,使处理液处于流动状态也能够使得硅微粉不易沉聚,使得硅微粉处于分散状态,保持处理液的流动性,便于后续处理。
搜索关键词: 硅微粉 处理液 硅材料加工 流动状态 处理装置 超纯水 分散状态 后续处理 收集处理 水中 沉淀 离子
【主权项】:
1.一种硅微粉的处理方法,其特征在于,包括以下步骤:在硅材料加工过程中,通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液;收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态。
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