[发明专利]一种基于倍频的双波长激光诱导向前转移加工方法

摘要

本发明公开了一种基于倍频的双波长激光诱导向前转移加工方法，使用倍频晶体将基频激光倍频后，同时使用处于可见光/红外光波段的基频激光和处于紫外光波段的倍频激光作为加工光源，并使用平场消色差显微物镜或者反射式显微物镜将所述加工光源聚焦到牺牲层的加工材料薄膜上以完成加工。本发明所公开的加工方法，可以综合可见光/红外光和紫外光的加工优势，获取更高的加工质量，又无需担心两种波长的激光束的重叠问题，非常适应精细结构的双波长激光诱导向前转移加工。

主权项

1.一种基于倍频的双波长激光诱导向前转移加工方法，其特征在于，使用倍频晶体将基频激光倍频后，同时使用基频激光和倍频激光作为加工光源，并将所述加工光源聚焦到牺牲层的加工材料薄膜上以完成加工；所述基频激光的频率处于可见光或者红外光波段，所述倍频激光的频率处于紫外光波段；所述牺牲层为一面附有加工材料薄膜的，对所述加工光源两个频率都透明的平板；所述加工光源从牺牲层未附有加工材料薄膜的一面入射；所述牺牲层附有加工材料薄膜的一面附近放置接收层；所述接收层用于接收牺牲层上剥离出的加工材料。