[发明专利]一种具有双向SCR结构的ESD保护器件有效

专利信息
申请号: 201910650174.5 申请日: 2019-07-18
公开(公告)号: CN111725204B 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 周墨;董业民;单毅;张振伟 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;贾允
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种具有双向SCR结构的ESD保护器件,包括:第一N阱、第二N阱、P阱和多晶硅层;利用所述多晶硅层进行隔离,通过所述第一P+注入区、所述第一N阱、所述P阱和所述第二N+注入区构成SCR1通路,以及通过所述第三P+注入区、所述第二N阱、所述P阱和所述第四N+注入区构成SCR2通路,所述SCR1通路和所述SCR2通路为芯片在各个方向的脉冲均提供了保护,本发明所述保护器件实现了单器件对于输入/输出端口的双向ESD保护,减少了完整ESD保护电路所需的器件数,版图面积大大缩减,降低了相应的寄生效应,另外,对于输出信号幅度高于电源电压或低于地线电压的电路,由于存在反偏PN结,亦不会出现漏电。
搜索关键词: 一种 具有 双向 scr 结构 esd 保护 器件
【主权项】:
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