[发明专利]一种石英晶片清洗装置及清洗方法在审
| 申请号： | 201910651521.6 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110238122A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 葛正浩;魏林林;白鹏虞 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英晶片清洗装置及清洗方法，清洗装置通过多个传动机构动作相互配合，实现晶片的清洗动作，清洗效果大大提升。整体结构紧凑，承载能力强，操作简单。上下运动有固定导柱和滑轨，运动平稳、可靠。通过清洗装置实现上下大行程往复运动，液面下一定频率的上下微调，旋转运动，通过液体对晶片的冲刷作用，实现了对晶片的全方位的清洗；同时利用超声波在化学清洗液中的空化及直进流作用及化学试剂的腐蚀作用，快速清洗石英晶片表面污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗装置 清洗 晶片 石英晶片 石英晶片表面 化学清洗液 承载能力 固定导柱 化学试剂 快速清洗 清洗效果 上下运动 超声波 大行程 滑轨 空化 液面 冲刷 微调 紧凑 污染物 腐蚀 配合 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶片清洗装置，其特征在于，包括主箱体(100)，所述主箱体(100)中设置有上箱体(200)和下箱体(300)，所述主箱体(100)中安装有第一传动机构，所述第一传动机构用于带动上箱体(200)在竖直方向运动，所述上箱体(200)中安装有第二传动机构和第三传动机构，所述第二传动机构用于带动第三传动机构上下往复运动，所述第三传动机构上安装有机械臂(26)，所述第三传动机构用于带动机械臂(26)转动，所述机械臂(26)穿过上箱体(200)，所述机械臂(26)下端安装有用于盛放石英晶片的花篮托盘(32)；所述下箱体(300)中设置有清洗槽(42)，所述清洗槽(42)下部安装座上安装有震动板(41)，震动板(41)内部安装有超声波换能器。
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