[发明专利]一种斜面圆钼靶材的生产方法

摘要

本发明公开了一种斜面圆钼靶材的生产方法，包括对高纯钼粉进行粒度分析、松装密度和纯度检测，筛分钼粉，混合钼粉，装填、紧固模具，冷等静压压制、脱模，烧结，热轧，机加工，清洗包装。本发明斜面圆钼靶材的生产方法，制得的斜面圆钼靶材纯度高，致密度高，晶粒更加细小。

主权项

1.一种斜面圆钼靶材的生产方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：对高纯钼粉进行粒度分析、松装比例和纯度检测；S2：筛分钼粉，经120目‑Ⅰ级、180目‑Ⅱ级、200目‑Ⅲ级3种不同目数筛网筛除大的团聚颗粒，分别按三级筛分分出不同粒径的钼粉，经筛选的钼粉按Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级分别装入桶内；S3：混合钼粉，配粉主要以Ⅱ级钼粉为主，Ⅰ级钼粉和Ⅲ级钼粉为辅，分别按重量份Ⅱ级钼粉80‑85份、Ⅰ级钼粉9‑12份、Ⅲ级钼粉4‑7份进行预混，将预混合好的粉末放入混料机，其间混料机充氮气，进行正反混料达30小时，每5小时换一次方向，粗颗粒粉末形成骨架结构，较细粉末能够填充到粗颗粒的缝隙中，得到在压制时有较好流动性的混合钼粉；S4：装填、紧固模具，将混合均匀的钼粉装入橡胶模具内，采取机械操作和手工辅助将模具内钼粉初步装填成型，并排出大部分空气；S5：冷等静压压制、脱模，将装填好钼粉的模具放入冷等静压机缸体内，设置压制压力200‑240MPa、保压时间210‑240秒、升压速率5‑8MPa/min；保压结束后分三级卸压，分别为160兆帕Ⅰ级20秒、120兆帕Ⅱ级20秒、80兆帕Ⅲ级30秒；压制结束后取出模具，进行脱模，取出钼坯料，进行外观、尺寸、重量检验，坯料尺寸为成品尺寸的1.3‑1.4倍为合格粉质坯料；S6：烧结，将钼坯料放置于中频烧结炉内，采取分段升温烧结法进行烧结，在坯料排气和晶格形成阶段即室温‑‑1400℃时延长升温时间，升温速率100℃/1.5h，并保温2小时；在致密性及晶粒长大阶段即1400℃‑‑1980℃时，按升温速率100℃/h‑120℃/h进行烧结并保温4小时；烧结过程中通氢气进行保护；保温结束后停止加热，关闭设备控制电路，炉冷却至24小时，待炉内温度低于80℃以下时，停止通入氢气，开炉取出坯料，放置存放区冷却至室温，检测烧结坯料尺寸、重量、密度，密度为9.85g/cm³为合格，合格后入库；S7：热轧，通过辊道将坯料送入加热炉，使用取料装置和辊道将加热到1200‑1300℃的坯料喂入轧机，采用一火二道次轧制法，每道次尺寸变形量不低于20％‑30％，重复三到四火再进行退火；逐步减少压下量，直至满足中间产品厚度要求，热轧完成后进行退火处理、校平处理；S8：机加工，用钢板尺测量坯料尺寸，在坯料上画线，外径大于目标尺寸5mm，内径大于目标尺寸5mm，将坯料安装在三爪卡盘上找正加工，加工到外径大于实际尺寸2.5‑3mm、内径尺寸小于2.5‑3mm时，加工车出圆盘，卸下平放；放置在真空退火炉中退火，温度为900℃，退火时间60分钟，取出平放冷却至室温；再次放置在三爪卡盘上找正加工，车出外径尺寸为目标尺寸；同样，在车内圆时，将车刀尺寸调至45度，车出斜面圆；用角磨机进行精抛，使光洁度达到0.8；根据产品规格和尺寸要求，选择适当设备按技术要求对产品进行切割、加工，直至尺寸公差满足产品要求；S9：清洗包装，成品经抹布擦洗干净后，经检验合格包装入库。