[发明专利]一种节流器法向随机微振动的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种节流器法向随机微振动的测量装置及方法。本发明包括激光测振仪，电感测微头，X‑Y二维平移台，限位组件，高精度大理石平台，工控机及显示屏。节流器放置于高精度大理石平台上并使用限位组件限位；电感测微头垂直固定于节流器上表面；调节X‑Y二维平移台，使激光测振仪的激光束依次落于每个待测点，依次测量并记录通气稳定后节流器每个待测点的法向随机微振动数据，同时电感测微头测量通气稳定后的初始气膜厚度，直至所有待测点测量完成。其中，使用限位组件中的直角型滚珠限位块限定节流器的位置，滚珠与节流器侧面为点接触，可减小节流器在法向振动时所受的摩擦力。本发明可同时测量节流器法向随机微振动及气膜厚度，精度高。

主权项

1.一种节流器法向随机微振动的测量装置，其特征在于：包括激光测振仪，用于测量节流器某一点的法向随机微振动；电感测微头，用于测量节流器通气后稳定的初始气膜厚度；X‑Y二维平移台，用于实现高精度大理石平台相对于激光测振仪在X及Y方向的移动，所述的高精度大理石平台，用于安装限位组件和放置节流器；限位组件，用于限定不同尺寸的节流器的位置，防止节流器在通气后滑动，避免当前测量点的位置偏离激光束；工控机及显示器，用于控制X‑Y二维平移台，记录、分析及显示激光测振仪和电感测微头测得的数据。