[发明专利]一种等离子体压力传感器及压力传感系统有效
| 申请号： | 201910653265.4 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN110243536B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李帆;杜娟;聂超群;张宏武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院工程热物理研究所 |
| 主分类号： | G01L23/08 | 分类号： | G01L23/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 鄢功军 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种等离子体压力传感器及压力传感系统，该等离子体压力传感器包括：放电电极和绝缘支撑件；放电电极的个数为两个；绝缘支撑件用于固定和隔离两个所述放电电极；在射频交流电压驱动下，两个放电电极之间，以及，绝缘支撑件的表面产生等离子体。本发明实施例突破了超燃冲压发动机隔离段和航空燃气涡轮发动机高压压气机的高温和高频环境的测量瓶颈，达到了2000K和MHz频响级别的压力场测量能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 压力传感器 压力 传感 系统 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体压力传感器，其特征在于，包括：放电电极和绝缘支撑件；所述放电电极的个数为两个；两个所述放电电极间隔设置于所述绝缘支撑件上；所述绝缘支撑件用于固定和隔离两个所述放电电极；在射频交流电压驱动下，两个所述放电电极之间，以及，所述绝缘支撑件的表面产生等离子体。
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