[发明专利]元件操控系统有效
申请号: | 201910654911.9 | 申请日: | 2016-09-22 |
公开(公告)号: | CN110459489B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 亨利·容克尔;马库斯·费斯特尔 | 申请(专利权)人: | 米尔鲍尔有限两合公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H05K13/04;B65G47/91 |
代理公司: | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人: | 韩登营 |
地址: | 德国罗*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于从结构化元件供应库中移出元件并将移出的元件存储在接收装置中的元件操控装置。将具有多个接收单元的第一转动装置设计成在分发点处从结构化元件供应库接收元件,并将接收的元件以第一预定角度,绕所接收元件的纵轴线或横轴线转动,将之传送至转移点。将具有多个接收单元的第二转动装置设计成于转移点处从第一转动装置的接收单元接收元件,并将接收的元件以第二预定角度,绕所接收的元件的纵轴线或横轴线转动,将之传送至放置点。将控制单元配置成通过第一旋转驱动绕第一轴线以可控的方式旋转第一转动装置,通过第一线性驱动沿第一轴线以可控的方式移动第一转动装置,通过第二旋转驱动绕不与第一轴线共线的第二轴线以可控的方式旋转第二转动装置,并通过第二线性驱动沿第二轴线以可控的方式移动第二转动装置。 | ||
搜索关键词: | 元件 操控 系统 | ||
【主权项】:
1.用于从结构化元件供应库移出元件并将其放置在接收装置(200)的元件操控装置(100),具有/n-具有多个拾取部件(132)的第一转动装置(130),所述第一转动装置配置成/n于分发点(SPS)处从结构化元件供应库接收元件(B),并且/n将接收到的元件以第一预定角度绕其纵轴线或横轴线(LA,QA)转动以将其传送至转移点(üS);/n-具有多个拾取部件(152)的第二转动装置(150),所述第二转动装置配置成/n于转移点(üS)从所述第一转动装置(130)的拾取部件(132)接收元件(B),/n将接收到的元件(B)以第二预定角度绕其纵轴线或横轴线(LA,QA)转动以将其传送至放置点(AS);以及/n-控制器(ECU),该控制器配置成/n通过第一旋转驱动(DA1)以可控的方式绕第一轴线(X轴)旋转所述第一转动装置(130);/n通过第二旋转驱动(DA2)以可控的方式绕不与第一轴线(X轴)共线的第二轴线(Y轴)旋转所述第二转动装置(150);并且/n-所述第一和第二转动装置(130,150)至少近似为星形或轮形;并且/n-相应的拾取部件(132,152)具有用于待输送的元件(B)的径向向外的抽吸接触点。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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