[发明专利]薄膜体声波谐振器的制作方法在审
| 申请号： | 201910656733.3 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN112039457A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 罗海龙 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 中国（上海）自由贸易试验*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器的制作方法。所述制作方法中，在第一衬底上依次形成了体声波薄膜和支撑结构，支撑结构包括主支撑墙、隔离墙以及辅助支撑柱，隔离墙设置于所述主支撑墙内，辅助支撑柱设置于隔离墙内，在键合第二衬底并移除第一衬底后，通过位于隔离墙限定的范围内的释放窗口去除辅助支撑柱和隔离墙。辅助支撑柱有助于在膜层转移及其它支撑结构上方的工艺中提供有效支撑，而形成于主支撑墙与辅助支撑柱之间的隔离墙在去除辅助隔离墙的过程中可以保护主支撑墙避免被侵蚀，提高后续位于主支撑墙限定范围的空腔的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 制作方法 | ||
【主权项】：
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